該系統(tǒng)由納秒激光器、皮秒激光器、激光雕刻控制模塊、激光耦合和聚焦模塊、光束運(yùn)動(dòng)控制模塊和樣品三維位移模塊組成。該系統(tǒng)使用多路耦合的多臺(tái)脈沖激光器來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材質(zhì)的二維材料和人工超表面的精密加工,非常適合異質(zhì)結(jié)構(gòu)、疊層結(jié)構(gòu)和更復(fù)雜的體系的精密加工,是構(gòu)建二維人工超表面和功能化微納光學(xué)結(jié)構(gòu)的理想工具