Knight系列工業(yè)級皮秒激光器采用緊湊的一體式設(shè)計方案,全新升級的控制系統(tǒng),不但具有多種控制功能,而且具有更好的功率穩(wěn)定性和光學(xué)指標一致性。整機采用自主研發(fā)皮秒光纖種子源配合自由空間固體放大器,高效頻率轉(zhuǎn)換實現(xiàn)皮秒深紫外脈沖輸出,與傳統(tǒng)的固體皮秒激光器相比具有更加穩(wěn)定耐久的性能,采用固體放大器確保高峰值功率激光輸出。Knight皮秒深紫外激光器的最高功率輸出可達5 W,最大單個脈沖能量為5μJ,而且脈寬可控,在半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測等領(lǐng)域表現(xiàn)出優(yōu)異的綜合性能。
Knight系列工業(yè)級皮秒激光器采用緊湊的一體式設(shè)計方案,全新升級的控制系統(tǒng),不但具有多種控制功能,而且具有更好的功率穩(wěn)定性和光學(xué)指標一致性。整機采用自主研發(fā)皮秒光纖種子源配合自由空間固體放大器,高效頻率轉(zhuǎn)換實現(xiàn)皮秒深紫外脈沖輸出,與傳統(tǒng)的固體皮秒激光器相比具有更加穩(wěn)定耐久的性能,采用固體放大器確保高峰值功率激光輸出。Knight皮秒深紫外激光器的最高功率輸出可達5 W,最大單個脈沖能量為5μJ,而且脈寬可控,在半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測等領(lǐng)域表現(xiàn)出優(yōu)異的綜合性能。
產(chǎn)品介紹(Description)
Knight系列工業(yè)級皮秒激光器采用緊湊的一體式設(shè)計方案,全新升級的控制系統(tǒng),不但具有多種控制功能,而且具有更好的功率穩(wěn)定性和光學(xué)指標一致性。整機采用自主研發(fā)皮秒光纖種子源配合自由空間固體放大器,高效頻率轉(zhuǎn)換實現(xiàn)皮秒深紫外脈沖輸出,與傳統(tǒng)的固體皮秒激光器相比具有更加穩(wěn)定耐久的性能,采用固體放大器確保高峰值功率激光輸出。Knight皮秒深紫外激光器的最高功率輸出可達5 W,最大單個脈沖能量為5μJ,而且脈寬可控,在半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測等領(lǐng)域表現(xiàn)出優(yōu)異的綜合性能。
產(chǎn)品特點(Features)
●一體式設(shè)計方案
●自主研發(fā)核心種子源
●良好的穩(wěn)定性和一致性
●數(shù)據(jù)實時檢測及記錄
●遠程診斷及預(yù)測性維護
●脈沖串模式/PSO(POD)頻率跟隨功能
●穩(wěn)定可靠,滿足7/24工業(yè)化生產(chǎn)條件
規(guī)格參數(shù)Specifications(支持定制)
應(yīng)用領(lǐng)域(Applications)
明/暗場圖形缺陷檢測原理圖 無圖形表面檢測系統(tǒng)原理圖
晶圓顆粒度缺陷檢測案例